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巴斯夫與弗勞恩霍夫IPMS共慶半導體行業創新解決方案研發合作十周年

來源：巴斯夫 日期 ：2024-10-28 作者 ：付靜恬
版權聲明： 本文由“雅式橡塑網（gidm.net）”原創/編輯首發，未經許可，禁止轉載與摘選。對任何侵權行為，本司將依法追究法律責任。

10月22日，巴斯夫和弗勞恩霍夫光微系統研究所（IPMS）慶祝他們在光微系統領域合作的里程碑。作為巴斯夫電鍍實驗室的關鍵組成部分，雙方的合作焦點集中在半導體生產和芯片集成領域，致力于研發創新且定制化的解決方案。在弗勞恩霍夫IPMS的納米電子信息技術研究中心（CNT），雙方可以通過試點測試積極發展探索并實施了多種策略，旨在提高半導體集成材料和技術的效率，同時降低成本。


 300 mm clean room at Fraunhofer IPMS ? Fraunhofer IPMS.png

位于弗勞恩霍夫光子微系統研究所（IPMS）的300毫米無塵室。（圖源：巴斯夫）


巴斯夫高級副總裁、全球電子材料業務部負責人羅齊樂博士表示：“通過合作，我們共同應對市場上不斷出現的挑戰，并將新技術應用于互連和封裝領域。”


Participants of the ten-year collaboration celebration between BASF and Fraunhofer IPMS ? Fraunhofer IPMS.png

巴斯夫與弗勞恩霍夫 IPMS 共慶合作十周年。（圖源：巴斯夫）

基于行業標準進行工藝評估


微芯片的制造和集成過程涉及眾多電化學工藝，需要在晶圓上涂覆各種金屬或合金層，以連接各個電路并在芯片內構建導體路徑網絡。對于整體集成的不同步驟以及不同的后續應用，化學品和工作步驟必須根據客戶的具體工藝進行調整。作為與巴斯夫合作的一部分，近年來用于電鍍沉積工藝的新型化學品得到了評估。同時，晶圓級別的產品測試和演示試驗也持續為客戶進行。巴斯夫在弗勞恩霍夫 IPMS 的無塵室中安裝了先進的工藝設備，由弗勞恩霍夫經驗豐富的科學家操作。該設備與工業流程中使用的設備一致，這有助于降低客戶的資格認證成本，進而節省開發時間和費用成本，并建立更高效的工藝。因此，創新解決方案可以在生產條件下進行開發和評估。


Partners of BASF and Fraunhofer IPMS in front of the process tool “LAM Sabre Extreme“. ? Fraunhof.png

巴斯夫與弗勞恩霍夫 IPMS的合作伙伴在LAM Sabre Extreme工藝設備前。（圖源：巴斯夫）


為行業伙伴提供直接應用機會


在過去十年里，該項目合作伙伴已經完成超過 12000 次的工藝運行。弗勞恩霍夫 IPMS 下一代計算業務部負責人 Benjamin Lilienthal-Uhlig 博士指出：“我們所開發的化學包裝和產品可直接應用于客戶的工業流程。” 例如，它們可用于采用雙重大馬士革技術制造的微型電路中的布線結構。這些產品在制造用于重新布線結構（支柱、RDL、TSV）的中間件、芯片和三維封裝方面具有重要作用，也可用于晶圓到晶圓混合接合中的金屬層。


2014 年 6 月，巴斯夫與弗勞恩霍夫 IPMS 建立了合作關系，作為在 CNT 開設篩選工廠的一部分。弗勞恩霍夫 IPMS 為巴斯夫提供了 300 毫米無塵室。客戶和合作伙伴還能夠從弗勞恩霍夫所在的德國薩克森硅谷網絡中受益，使得其他本地機構也能參與其中，如弗勞恩霍夫 IPMS 德累斯頓分部的弗勞恩霍夫可靠性和微集成研究所（IZM-ASSID），或者直接為其全球工業合作伙伴（如博世、英飛凌、格芯）進行工藝開發。新成立的研究中心 CEASAX（先進 CMOS 與異質集成薩克森中心）也將使合作更加緊密，尤其是在微系統異構集成方面提供面向應用的解決方案。


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來源：巴斯夫 日期 ：2024-10-28 作者 ：付靜恬
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10月22日，巴斯夫和弗勞恩霍夫光微系統研究所（IPMS）慶祝他們在光微系統領域合作的里程碑。作為巴斯夫電鍍實驗室的關鍵組成部分，雙方的合作焦點集中在半導體生產和芯片集成領域，致力于研發創新且定制化的解決方案。在弗勞恩霍夫IPMS的納米電子信息技術研究中心（CNT），雙方可以通過試點測試積極發展探索并實施了多種策略，旨在提高半導體集成材料和技術的效率，同時降低成本。


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位于弗勞恩霍夫光子微系統研究所（IPMS）的300毫米無塵室。（圖源：巴斯夫）


巴斯夫高級副總裁、全球電子材料業務部負責人羅齊樂博士表示：“通過合作，我們共同應對市場上不斷出現的挑戰，并將新技術應用于互連和封裝領域。”


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巴斯夫與弗勞恩霍夫 IPMS 共慶合作十周年。（圖源：巴斯夫）

基于行業標準進行工藝評估


微芯片的制造和集成過程涉及眾多電化學工藝，需要在晶圓上涂覆各種金屬或合金層，以連接各個電路并在芯片內構建導體路徑網絡。對于整體集成的不同步驟以及不同的后續應用，化學品和工作步驟必須根據客戶的具體工藝進行調整。作為與巴斯夫合作的一部分，近年來用于電鍍沉積工藝的新型化學品得到了評估。同時，晶圓級別的產品測試和演示試驗也持續為客戶進行。巴斯夫在弗勞恩霍夫 IPMS 的無塵室中安裝了先進的工藝設備，由弗勞恩霍夫經驗豐富的科學家操作。該設備與工業流程中使用的設備一致，這有助于降低客戶的資格認證成本，進而節省開發時間和費用成本，并建立更高效的工藝。因此，創新解決方案可以在生產條件下進行開發和評估。


Partners of BASF and Fraunhofer IPMS in front of the process tool “LAM Sabre Extreme“. ? Fraunhof.png

巴斯夫與弗勞恩霍夫 IPMS的合作伙伴在LAM Sabre Extreme工藝設備前。（圖源：巴斯夫）


為行業伙伴提供直接應用機會


在過去十年里，該項目合作伙伴已經完成超過 12000 次的工藝運行。弗勞恩霍夫 IPMS 下一代計算業務部負責人 Benjamin Lilienthal-Uhlig 博士指出：“我們所開發的化學包裝和產品可直接應用于客戶的工業流程。” 例如，它們可用于采用雙重大馬士革技術制造的微型電路中的布線結構。這些產品在制造用于重新布線結構（支柱、RDL、TSV）的中間件、芯片和三維封裝方面具有重要作用，也可用于晶圓到晶圓混合接合中的金屬層。


2014 年 6 月，巴斯夫與弗勞恩霍夫 IPMS 建立了合作關系，作為在 CNT 開設篩選工廠的一部分。弗勞恩霍夫 IPMS 為巴斯夫提供了 300 毫米無塵室。客戶和合作伙伴還能夠從弗勞恩霍夫所在的德國薩克森硅谷網絡中受益，使得其他本地機構也能參與其中，如弗勞恩霍夫 IPMS 德累斯頓分部的弗勞恩霍夫可靠性和微集成研究所（IZM-ASSID），或者直接為其全球工業合作伙伴（如博世、英飛凌、格芯）進行工藝開發。新成立的研究中心 CEASAX（先進 CMOS 與異質集成薩克森中心）也將使合作更加緊密，尤其是在微系統異構集成方面提供面向應用的解決方案。


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